全自动12”超薄晶圆量测仪
MX6012-DRAT-8C
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♦ 12"晶圆专用，双机械手臂传送
♦ 可量厚度、TTV、翘曲度、电阻值、P/N
♦ 可任意设定多进多出分类模式，Throughput可达200wafer/hr以上
♦ 支持SECS/GEM传输协议
♦ 支持Wafer Studio 3D显示功能
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